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晟旗科技（北京）有限公司
主营：质量流量计,气体质量流量计,质量流量控制器,气体流量控制器 - 13811754233
晟旗科技（北京）有限公司
主营：质量流量计,气体质量流量计,质量流量控制器,气体流量控制器
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5400系列
日本KOFLOC
5400系列质量流量控制器-金属密封
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
电气连接
5400质量流量控制器 | |
量程(N2) | 10SCCM-20SLPM(另外50SLM) |
精度 | ±1.0%FS |
重复性 | ±0.2%FS |
响应时间 | 1秒以内 |
耐压 | 1.0Mpa |
进口压力 | O.3Mpa |
动作压差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
温度范围 | 5-45℃ |
湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) |
材质 | 本体SUS316L |
密封圈SUS316L、PTFE | |
电气接口 | DB9 |
模拟信号 | 0-5V输入/输出 |
供电 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
管路连接 | 标配1/4UJR |
选配1/8UJR | |
重量 | 约1000g |
电气连接
针脚/颜色 | 定义 |
1针脚/棕色 | 阀门全开/全闭 |
2针脚/白色 | 0-5V输出 |
3针脚/红色 | +15VDC |
4针脚/黑色 | 电源COM |
5针脚/黄色 | -15VDC |
6针脚/灰色 | 0-5V输入 |
7针脚/绿色 | 输出COM |
8针脚/兰色 | 输入COM |
9针脚/紫色 | 阀门电源输出 |
使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不**过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不**过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口压力3公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
质量流量计的缺点是什么? 使用质量流量控制器害怕什么?
相对廉价的转子流量计来说, 质量流量计的主要缺点就是价格比较昂贵。
使用质量流量控制器有四怕:
1怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
2怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;
3怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
*四怕在使用强腐蚀性、易燃易爆、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。正确使用, 安全操作, 对每个用户都是重要的。
7. 质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于低值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若**值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。