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晟旗科技（北京）有限公司
主营：质量流量计,气体质量流量计,质量流量控制器,气体流量控制器 - 13811754233
晟旗科技（北京）有限公司
主营：质量流量计,气体质量流量计,质量流量控制器,气体流量控制器
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5410系列
日本KOFLOC
5410系列质量流量计-金属密封
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
性能参数
5410质量流量计 | |
量程(N2) | 10SCCM-20SLPM(另外50SLM) |
精度 | ±1.0%FS |
重复性 | ±0.2%FS |
响应时间 | 1秒以内 |
耐压 | 1.0Mpa |
进口压力 | O.5Mpa |
泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
温度范围 | 5-45℃ |
湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) |
材质 | 本体SUS316L |
密封圈SUS316L、PTFE | |
电气接口 | DB9 |
模拟信号 | 0-5V输出 |
供电 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
管路连接 | 标配1/4UJR |
选配1/8UJR | |
重量 | 约800g |
电气连接
针脚/颜色 | 定义 |
1针脚/棕色 | 空 |
2针脚/白色 | 0-5V输出 |
3针脚/红色 | +15VDC |
4针脚/黑色 | 电源COM |
5针脚/黄色 | -15VDC |
6针脚/灰色 | 空 |
7针脚/绿色 | 输出COM |
8针脚/兰色 | 空 |
9针脚/紫色 | 空 |
使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不**过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不**过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。