华北半导体行业**美国艾利卡特Alicat 的 LL1 系列质量流量计带有集成式多功能数字显示屏

 美国ALICAT-LL1系列数字式质量流量控制器

产品概述 

Alicat 的 LL1 系列数字式质量流量计可快速精确地测量过程气体的质量流 量、体积流量、压力和温度。 

Alicat 的LL1 系列质量流量计采用的内部补偿型层流压差技术，使得大 流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况

进行修正。所有 Alicat 质量流 量计均具有 NIST 可溯源校准证书。 

LL1 系列质量流量计内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装 

方向不敏感。Alicat 提供全的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的质保。 

Alicat 的 LL1 系列质量流量计带有集成式多功能数字显示屏，用户可通多显示屏按钮操作在内置 30 种标准 气体中进行任意切换，同时开放模拟通讯和 RS-232 数字通讯模式。我们为用户

提供广泛的定制化服务以满 足各类特殊的项目需要，如：用于危险环境的 ATEX(欧洲)1 类 2 区和 CSA(美国)1 类 2 区认证产品等。另有 耐腐蚀系列(LLF4 系列)、低压损系列(LD12 系列)

和便携式系列(LP16 系列)质量流量计可选。 

产品应用 

Alicat 的 LL1 系列数字式质量流量计广泛应用于各行业领域，如：科学研究、泄漏测试、环境监测、真空 镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测

量等。多变量测量、 多种气体标定以及 200:1 量程可调比使得仅用一台 Alicat 质量流量计便可取代多台设备发挥的功效。高可达 0.4%的精度、0.2%重复性及不到 10 毫秒的测量响应速度

优化了气体测量过程。 

LL1 系列质量流量计可测量从 0-0.5 SCCM 到 0-5000SLPM 的满量程的任何流量。 

LL1 系列质量流量计技术参数 

0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 5000 slpm 满量程 

规格 LL1 系列质量流量计 

精度(调零后标准条件下) ±(0.8%Rdg +0.2%F.S) 

高精度可选项(调零后标准条件下) ±(0.4%Rdg +0.2%F.S) 

高精度(可选项)仅适用于量程为 5SCCM ~ 500SLPM 的设备 

精度(双向流量型号)  (调零后标准条件下) ±(0.8%Rdg +0.2%F.S) 

F.S:负满量程到正满量程 

重复性 ±0.2%F.S 

零点漂移&满量程漂移 0.02% F.S / ºC /Atm 

工作范围 /量程可调比 0.5% ~** F.S/ 200:1 

可测流量 128% F.S 

典型响应时间 10 毫秒(可调整) 

启动预热时间 <1 秒 

运行工况 LL1 系列质量流量计 

标准工况 (STP) 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia(三种工况供切换) 

工作温度 −10 ~ +50 ºC 

工作湿度范围 (非冷凝) 0 ～** 

工作压力 145 psig 

对安装方式/方向的要求 无 

防护等级 IP40 

材质 303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶 RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙,铝 若有特殊材质需求，请联系Alicat 

通讯/ 电源 LL1 系列质量流量计 

单色/彩色 LCD 显示屏 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度 

数字输出信号 1(可选项) RS-232/RS-485/PROFIBUS3 

模拟输出信号 2(可选项) 0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA 

*二道模拟输出信号 2(可选项) 0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA 

电信号接口 8 针 Mini-DIN / DB9 / DB15/ 6 针工业接头 

供电电压 7-30 Vdc (15-30 Vdc，当选择 4-20 mA 输出) 

供电电流 0.040Amp (+输出电流，当选择 4-20 mA 输出) 

1. 数字信号输出质量流量、体积流量、压力和温度 

2. 模拟信号&*二道模拟信号(可选项)输出质量流量、体积流量、压力或温度 

3. 若选择 PROFIBUS，则无模拟信号。PROFIBUS 设备不带显示屏。请参考 PROFIBUS 规格以了解供电电压与电流 

产品性能 LL1 系列质量流量计 

内置 90 种气体可选™ 标准兼容气体：,空气,氩气, , , , , , 氦气, , , 氪 气, , 氖气, , 一氧化二氮, 氧气, , 六氟

化硫, 气,A-25,A-75,A1025, C-2, C-8, C-10,  C-25,C-75, P-5,Star29 等等... 

若您需要的气体不在以上列出的气体或混合气体中，请咨询晟旗科技，Alicat 可校准一系列多达八种气体 成分的复杂混合气体 

LLF4 防腐蚀系列另可兼容以下气体：氨气、氯气、、、、、二 氧化硫、含量不**过.0.5%的惰性载气、气体制冷剂 

物理规格和尺寸 

满量程质量流量计 满量程压损 1(psid) 

排气到大气中 外观尺寸 连接接口 2 

0.5 sccm 至 1 sccm 1.0 3.9”H x 2.4”Wx 1.1”D M-5 (10-32) 母(内螺纹) 

(Buna-N 表面密封至 1/8” NPT 母) 

2 sccm 至 50 sccm 1.0

100 sccm 至 20 slpm 1.0 4.1”H x 2.4”Wx 1.1”D 1/8” NPT 母 

50 slpm 2.0 4.4”H x 4.0”Wx 1.6”D 1/4”  NPT 母 

100 slpm 2.5

250 slpm 2.1 5.0”H x 4.0”Wx 1.6”D 1/2” NPT 母 

500 slpm 4.0 5.0”H x 4.0”Wx 1.6”D 3/4” NPT 母 

(2000SLPM 可选配 1-1/4” NPT 母) 

1000 slpm 6.0

1500 slpm 9.0

2000 slpm 5.0 5.3”H x 5.2”Wx 2.9”D

3000 slpm 7.1 5.3”H x 5.2”Wx 2.9”D 1-1/4” NPT 母 

1. 另有 LD12 系列低压损质量流量计 

2. 与Beswick®,Swagelok®管,Parker®,表面密封,快接接头和卡套转接头相兼容 

大多数传统的真空镀膜工具使用下游压力控制来维持真空气体的压力，这就需要用到气体质量流量计和气体质量流量控制器。

但是安装节流阀可能要花费数千美元，还需要单独的控制模块来驱动阀门。节流阀设置在更换气体或等待气体沉淀时，也会造成延迟。

在燃烧室上游放置一个压力控制器，采用速动比例控制阀，可以提供更快的响应时间和更好的稳定性。这也省去了额外的节流阀和控制模块。

Alicat提供了这种选择。

1、PCD系列双阀绝压质量流量控制器和表压压力控制器

对于较大规模或OEM项目，Alicat PCD系列双阀绝压和表压压力控制器能够控制真空水平。
该系列产品用于高真空、需要外接仪表的场景。
PCD系列双阀绝压和表压压力控制器从传感器获取模拟信号，并使用比例阀提供闭环控制。
通过增加一个外部压力传感器，可以更精确地维持压力，同时允许用户独立于真空镀膜系统改变或调整气体。

PCD系列双阀绝压和表压压力控制可以为外部真空仪表提供电源，兼容所有的测量技术，包括离子、皮拉尼和冷阴极。

2、Alicat集成真空控制器(IVC)

对于没有现有真空仪表的小型项目，Alicat集成真空控制器(IVC)是解决方案。

与PCD系列双阀绝压气体质量流量计和气体质量流量控制器一样，它省去了传统节流阀压力控制方法的体积、复杂性和费用。

IVC包括一个直接集成到设备中的真空传感器，使其能够直接控制真空压力。这些传感器能够在低范围内高精度工作，低至10毫托。

IVC还包括直接来自设备的PID控制，以及一个气动隔离传感器。与市场上的其他解决方案相比，IVC可以确保更高的精度，具有精确的燃烧测量和气体隔离。

在真空镀膜应用中，将压力控制装置置于真空镀膜的上游，可以节省时间、成本，提高真空镀膜工具的精度。